1）力矩馬達部分
a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。
b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。
c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。
d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。
e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。
f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到大。
2）噴嘴擋板部分
a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴重的引起系統不穩定。
b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。
3）滑閥放大器部分
a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。
b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。
4）其他部分
密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。
MOOG穆格閥電液調節系統有電液伺服閥故障引起的常見故障：
1）油動機拒動
在機組啟動前做閥門傳動試驗時，有時出現個別油動機不動的現象，在排除控制信號故障的前提下，造成上述現象的主要原因是電液伺服閥卡澀。盡管在機組啟動前已進行油循環且油質化驗也合格，但由于系統中的各個死角是未知不可能*循環沖洗，所以一些顆粒可能在伺服閥動作過程中卡澀伺服閥。
2）汽門突然失控
在機組運行過程中，有時在控制指令不變的情況下，汽門突然全開或全關，造成上述現象的主要原因是電液伺服閥堵塞。主要是油中的臟物堵塞伺服閥的噴嘴擋板處，造成伺服閥突然向一個方向動作，導致油動機向一個方向運動到極限未知，使汽門失去控制。
3）氣門擺動
氣門擺動是較常見的故障現象，在排除控制信號故障的前提下，伺服閥工作不穩定是主要原因。伺服閥的內漏大，分辨率大和零區不穩定，均可能引起電調系統的擺動。伺服閥的分辨率增大，是伺服閥不能很快響應控制系統的指令，容易引起系統的超調，導致系統在一定范圍內不停調整，造成氣門擺動。伺服閥閥口磨損，不但引起伺服閥泄露增大，而且會引起伺服閥零區不穩定，使伺服閥長期處于調整狀態，嚴重時會引起氣門擺動。
4）油動機遲緩率大
造成此現象的原因很多，伺服閥的流量增益低，壓力增益低以及伺服閥濾芯堵塞引起伺服閥分辨率過大等，都可能增大油動機遲緩率。解決辦法是嚴格控制燃燒油質，定期檢查伺服閥。
5）油動機關不到位
在控制信號和機械部分沒有問題的前提下，造成油動機關不到位的主要原因為伺服閥的零偏不對。
